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バンプにはこれ SC-BM500シリーズ

ウエハーバンプマスクを洗浄する高性能タイプ

SC-BM500 シリーズ

超音波と洗浄液スプレーにて微細開口洗浄を可能
□320mm~□750mmまで対応
クリーム半田だけでなくインクペーストにも
カタログダウンロード

SC-BM500の特徴

  • ボタン一つで洗浄から乾燥までOK!
  • 版サイズ:320㎜角~1000×740㎜までの版がワンタッチセット。
  • 版枠や版の際まで洗浄できます!
  • スキージ洗浄機も接続できる拡張機能付き。
  • 圧縮エアーによる乾燥機構が標準装備。
  • 見やすいタッチパネル。
  • 大きな窓で洗浄状態を確認。
  • 超音波とスプレーのダブル洗浄。
SC-BM500の洗浄効果

仕様

型番

SC-BM500

外形寸法・重量

W: 780 x D: 1,100 x H: 1,847 mm *1
約 250 kg

入力電源・電流

AC 100 V 50/60 Hz
550 VA

超音波周波数

40 kHz, 300 W

対応メタルマスク

L: 320 x W: 320 mm to L: 1,000 x W: 700 mm

入力エアー

0.4 MPa, 600 NL/min

排気ダクト

風速 5 m/sec ダクト径 φ123

洗浄・乾燥時間

洗浄 約1分/版 *2
乾燥 約14分/版 *2

*1 状態表示灯は含みません。
*2 洗浄時間は条件により変わります。(表記はHA-1285使用時)
仕様・外観は改良のため予告なく変更することがあります。

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